在线薄膜厚度测量仪
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详细信息

一：镀膜机在线监控仪的参数

1.测试波长：根据客户需要选择，目前有如下的选择：

l红外线：850 nm（默认选项，抗干扰能力强）

l可见光：白光 380nm-760nm

l绿光：530nm

2.透过率测量精度：优于±1%

3.透过率分辨率：0.005%；

4.光密度测量范围：0.00 OD　－　5.00 OD

5.光密度的分辨率：

0.01 for 0.00 - 3.00 OD

0.05 for 3.00 - 5.00 OD

6.最大测量点数：32点

7.相邻探测头之间距离：最小70mm

8.发送接收探头之间距离：20mm

9.温度范围： -20°C --- +70°C

10.数据刷新周期：300ms

11.仪器整体尺寸：100mm（宽）*230mm（高）* 长度(根据客户要求定制)

12.需真空法兰电极芯数：6根（不配电脑监控），9根（配电脑监控）

13.电源：220V AC/50Hz

14.通讯：双路RS485